Flex Electronics Webinar Master Class: August 2020 (On Demand) StdPbc-0919 SEMI MF672-01 (first SEMI publication)

SEMI MF672-01 (first SEMI publication)

Multicrystalline and monocrystalline silicon wafers for photovoltaic (PV) cells are manufactured by casting

2  The general trend in wafer geometry is to a larger diameter but even so the thickness increases correspondingly

SEMI E40 — Specification for Processing Management

本仕様が規定するのは，300 mm AMHS装置のインターベイロードポートに関わる寸法の要求条件である。この目的は，異なるタイプのインターベイ装置の中から物理的インタフェースを決めるに必要な形状と寸法のリストを作成し，異なる自動搬送システムを使用できるようにし，工場内にある様々な材料取り扱い要求に応えることである。これのために，ストッカーとインターベイ搬送システム双方が従うべきインタフェースの選択肢を6つ規定すれば足りることになる。規定されたオプションは次のとおり。

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