P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Revision:SEMI P3-0308 - Inactive 本テスト方法は，大気中の酸素の浸入を検出することによって，超高純度（UHP）ガス分配システムの完全性を監視する手順について規定する。本テスト方法は，対象となっているUHPガスを使用したプロセス装置の中断を必要とせずに，非浸入式のO2測定を使用することによって，「活動中の」UHPガス分配システムを連続的に評価するために使用される。

本テスト方法は，大気中の酸素の浸入を検出することによって，超高純度（UHP）ガス分配システムの完全性を監視する手順について規定する。本テスト方法は，対象となっているUHPガスを使用したプロセス装置の中断を必要とせずに，非浸入式のO2測定を使用することによって，「活動中の」UHPガス分配システムを連続的に評価するために使用される。

2  This Standard can be applied to measure wires whose diameter is less than 100 microns

35-95 (technical revision)

orgで，そして2007年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行，前版は1996年に発行された。

The LonMark International Association will review and approve the enhanced SEMI LonMark functional profiles presented in this network communication Document and incorporate the required SEMI profiles into the LonMark Interoperability Guidelines

P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Revision:SEMI P3-0308 - Inactive 本テスト方法は，大気中の酸素の浸入を検出することによって，超高純度（UHP）ガス分配システムの完全性を監視する手順について規定する。本テスト方法は，対象となっているUHPガスを使用したプロセス装置の中断を必要とせずに，非浸入式のO2測定を使用することによって，「活動中の」UHPガス分配システムを連続的に評価するために使用される。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Micropatterning Committee2008118global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org1998 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met.